激光切割过程中，有很多因素会引起焦点与加工物体表面相对位置的变化。工件表面不平整、工件装夹方式、机床几何误差、机床受载变形、工件在加工过程中热变形等都会导致激光焦点位置偏离理想给定位置（编程位置）。
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有些误差（如机床的几何误差）是有规律的，可以通过定量补偿方法进行补偿，但有些误差是随机误差，只能通过在线检测和控制来消除。这些错误是：
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1、工件几何误差
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激光切割的对象是板类或盖类零件。由于各种原因，被加工物体的表面存在起伏，切削过程中热效应的影响也会造成薄板零件的表面变形。对于覆盖件的激光加工，在压制成型过程中也会出现表面不平整，所有这些都会使激光焦点的理想位置和被加工物体的表面产生随机变化。
2、工件夹紧装置引起的误差
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将激光切割加工后的工件放置在针形工作台上。由于加工误差、工件之间的长期磨损以及激光烧伤等原因，针床会出现凹凸不平的情况。这种不均匀也会在薄钢板和激光焦点之间产生间隙。位置随机误差。
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3、编程引起的错误
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激光切割过程中，复杂曲面上的加工轨迹是通过直线、圆弧等进行拟合的，这些拟合曲线与实际曲线存在一定的误差。这些误差使得实际焦点与加工物体表面的相对位置与理想编程不同。位置有一定的误差。有些教学编程系统也会引入一些偏差。
