等离子清洗机是利用等离子体去除表面污染物的设备。其核心部分是真空室。真空室是等离子清洗机的重要组成部分。其结构和原理直接影响等离子清洗机的清洗效果和稳定性。
等离子清洗机2.真空室结构
等离子清洗机的真空室由两部分组成：上部为上盖，下部为下盖。上盖和下盖通过密封圈连接，形成密封的真空腔体。真空室的内部通常由不锈钢制成，没有毛刺，以避免表面残留污染物。
真空室的内部结构主要包括
1、等离子发生器等离子发生器是等离子清洗机的核心部分。它通过高频电场将气体转化为等离子体，实现表面污染物的去除。等离子体发生器通常位于真空室的上部，通过密封圈与真空室内部连接。
2、样品架样品架通常位于真空室的下部，用于放置需要清洗的样品。样品架一般采用不锈钢材质，避免样品二次污染。
等离子清洗机3、进气管和排气管进气管和排气管分别位于真空室的上部和下部，用于向真空室输入气体和排出处理后的气体。进气管和排气管一般采用不锈钢材质，以防止气体残留在管内。
3、真空室原理
等离子清洗机的真空室采用真空技术，在一定程度上降低真空室内部的气压，保证在真空环境下稳定地产生等离子体。真空室内的气体通常通过气泵抽出。气泵的类型有机械泵、罗茨泵、分子泵等。
真空室内产生等离子体后，等离子体会与待清洁样品的表面发生反应，去除表面污染物。等离子体的类型包括辉光放电等离子体、微波等离子体、射频等离子体等。
真空泵等离子清洗机的真空室是等离子清洗机的重要组成部分。其结构和原理直接影响等离子清洗机的清洗效果和稳定性。真空室的内部结构应尽可能光滑、无毛刺，以避免表面污染物残留。真空室的原理是通过真空技术将气体压力降低到一定程度，利用等离子体与样品表面发生反应，去除表面污染物。
